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产品中心

• 匀胶机、烘胶台系列
• 曝光机系列
• 刻蚀机系列
• 淀积台系列
• 溅射台系列
• 多功能组合设备
• 去胶机系列
• 键合炉

应用领域

• 集成电路 IC
• 微机电系统MEMS NEMS
• 传感器SENSOR
• 半导体照明LED
• 平板显示系统FPD
• 分立器件、电子元器件Discrete device
• 超导 Superconductivity
• 薄膜FILM

开放实验室

• 清洗工艺
• 光刻工艺
• 刻蚀工艺
• 溅射工艺
• 淀积工艺
• 湿法腐蚀
• 剥离工艺

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