干 

 法

 刻

 蚀

ICP刻蚀深刻Si、AlN
Si,PI
GaN,GaAs、SiNx、SiO2
RIE刻蚀Si、Si3N4、SiO2 、PI
GaN、ZnO、SiC、金属
IBE刻蚀(Al、Cu、Cr、Ni、Au……
干法去胶/打底膜


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