ICP-500全自动感应耦合等离子体刻蚀机

详细描述

本产品具有三种功能:等离子体刻蚀(PE)、反应离子刻蚀(RIE)、感应耦合等离子体刻蚀(ICP)。其刻蚀原理不尽相同,既有纯化学的,也有物理与化学相结合的模式。它既可以进行细线条(纳米)加工,又可以进行体加工。

本设备具有选择比好,刻蚀速度快、重复性好等特点,它较RIE具有更好的综合刻蚀效果且应用范围更广。可刻蚀的材料主要有Poly-Si、Si、SiO2、Si3N4、W、Mo、GaN、GaAs等。

本产品通过对真空系统、工作压强、射频电源匹配、气体流量及工艺过程的全自动控制,使工艺的重复性、稳定性、可靠性得到有效保证,并能精确地控制图形的剖面,从而获得好的刻蚀效果。 

本产品通过软、硬件相互配合的互锁、智能监控、在线状态记忆、断点保护等设计,结合各种硬保护装置、使设备的安全性、可靠性得到有效保证。 

本设备主要用于微电子、光电子、通讯、微机等领域的器件研发和制造。 


产品主要性能指标 


型号

ICP-500

真空系统

分子泵机组

刻蚀室数量

单室

刻蚀室规格

ø300×280mm

电极尺寸

ø200mm

刻蚀材料

Poly-Si、Si、SiO2、Si3N4、W、Mo、GaN、GaAs等

刻蚀速率

~4 μ/min (与刻蚀材料和工艺有关)

刻蚀不均匀性

≤±5%

自动化程度

真空系统、下游压力闭环控制、射频电源、气体流量、工艺过程全自动控制。

人机界面

Windows环境、触摸屏操作

操作方式

全自动方式、非全自动方式

自动化装置的选配

可选择进口件或国产件


本产品是“感应耦合离子体刻蚀机(ICP)”的全自动产品。

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